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特殊光学系とは?回折光学素子等を利用した特殊光学系の利点と欠点

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レーザ加工について

レーザ加工光学系とは

W.特殊光学系

特殊光学系は、回折光学素子などそれ自体に設計が別途必要になるような素子を使用する
光学系です。

特殊光学系

回折光学素子は、レーザ光のビームプロファイルを成形したり、ビームの分岐、集光と言ったレンズの基本機能を複合的に持つことが出来るため、回折光学素子だけでマスクを使用せずに加工対象物上にパターン加工をしたりすることができます。

ビームプロファイル変換(ガウシアン分布プロファイルからトップハットプロファイルへの変換)

ただ欠点は、この素子への入射条件が比較的厳しく、通常の屈折レンズと比べ透過率(回折効率)が20〜30%低いため、レーザ光を効率的に使いたい場合は不向きとなります。


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